| MICROSCOPIE
ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
Le microscope électronique à balayage (connu
sous l’acronyme MEB) est un microscope qui, pour
former l’image, utilise un faisceau accéléré
d’électrons au lieu de lumière visible. La microscopie
optique a une forte limitation de grossissements et de résolution,
à cause de la longitude d’onde de la lumière et des
caractéristiques de l’œil humain. L’onde associée
a un faisceau d’électrons a une longitude très petite
et en conséquence, l’image formée par celle-ci peut
avoir une résolution importante : il s’agit de la base de
la microscopie électronique qui, au lieu de lumière, utilise
un faisceau d’électrons et au lieu de lentilles de verre,
des lentilles consistant en des champs magnétiques qui dévient
les électrons.
Les
images obtenues par cette technique ont une grande profondeur de champ,
ce qui permet de faire la mise au point sur une grande partie de l’échantillon
simultanément, même si celui-ci ne se trouve pas sur le même
plan, et produire des images de haute résolution ; cela signifie
que de très petites caractéristiques peuvent être
examinées avec un degré élevé de résolution.
En outre, l’impact du faisceau d’électron sur l’échantillon
donne lieu à différents phénomènes physiques,
dont les résultats peuvent être recueillis et analysés
de manière à ce qu’il soit possible d’obtenir
des informations chimiques de l’échantillon ou d’une
partie de celui-ci, la distribution des éléments qui la
composent, l’émission de cathodoluminescence apporte parfois
des informations pertinentes…
La préparation des échantillons est relativement facile,
étant donné que dans la majorité des cas il suffit
que ceux-ci soient conducteurs. Pour cette raison, l’échantillon
est recouvert avec une couche de métal ou de carbone très
fine, et elle est balayée par des électrons envoyés
depuis un canon. Un détecteur mesure la quantité d’électrons
qui émergent de la zone de l’échantillon et est capable
de présenter le résultat sous frome d’image en trois
dimensions, projetée sur un écran. Sa résolution
se situe entre 3 et 20 nanomètres, en fonction du microscope et
des conditions d’observations.
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